半導體用超純水設備電去離子（Electrodeionization 簡稱EDI）是將電滲析膜分離技術與離子交換技術有機地結合起來的一種新的制備超純水（高純水）的技術，它利用電滲析過程中的極化現象對填充在淡水室中的離子交換樹脂進行電化學再生。濃水室中自己水的流動將帶走水中的陰陽離子。膜阻止帶相反電荷的離子的進入淡水室在水流通過淡水室的過程中，離子被樹脂去處，所以膜的有效側（淡水室）就會產生純水。